Eine Kryopumpe ist eine Vakuumpumpe, die eine Oberfläche mit niedriger Temperatur verwendet, um Gas zu kondensieren, auch bekannt als Kondensatpumpe. Die Kryopumpe kann ein sauberes Vakuum mit der höchsten Pumprate und dem niedrigsten Enddruck erzielen und wird häufig in der Forschung und Produktion von Halbleitern und integrierten Schaltkreisen sowie in der Molekularstrahlforschung, Vakuumbeschichtungsausrüstung, Vakuumoberflächenanalyseinstrumenten und Ionen eingesetzt Implantierer und Weltraumsimulation. Geräte usw.
Pumpprinzip Die Kryopumpe ist mit einer Kühlplatte ausgestattet, die durch flüssiges Helium oder einen Kühlschrank auf eine sehr niedrige Temperatur gekühlt wird. Es kondensiert das Gas und hält den Dampfdruck des Kondensats unter dem Enddruck der Pumpe, um die Pumpwirkung zu erzielen. Die Hauptfunktionen des Niedertemperaturpumpens sind Niedertemperaturkondensation, Niedertemperaturadsorption und Niedertemperaturerfassung.
Kryopumpe
① Niedertemperaturkondensation: Gasmoleküle kondensieren auf der Oberfläche der Kühlplatte oder auf der kondensierten Gasschicht, und der Gleichgewichtsdruck ist im Wesentlichen gleich dem Dampfdruck des Kondensats. Beim Pumpen von Wasserstoff ist die Kühlplattentemperatur niedriger.
②Niedrigtemperaturadsorption: Die Gasmoleküle werden auf der Oberfläche des Adsorptionsmittels adsorbiert, das auf der Kühlplatte mit einer Dicke von einer Molekülschicht beschichtet ist. Der Gleichgewichtsdruck für die Adsorption ist viel niedriger als der Dampfdruck bei gleicher Temperatur.
③Kryogenes Einfangen: Gasmoleküle, die bei der Extraktionstemperatur nicht kondensiert werden können, werden von der wachsenden Schicht aus kondensierbarem Gas vergraben und adsorbiert.