Kryopumpen werden je nach Förderart des Mediums in folgende Typen eingeteilt:
Kryopumpe des Speichertanks: Niedertemperaturmedium (flüssiges Helium) wird direkt in den Speichertank in der Pumpe eingespritzt, um das Gas zu kondensieren, um den Zweck des Pumpens zu erreichen.
Die Vorteile der Speichertank-Kryopumpe bestehen darin, dass die Pumpe klein ist, keine Vibrationen aufweist, keine Geräusche verursacht und einfach zu bedienen ist.
Der Nachteil der Kryopumpe des Lagertanks besteht darin, dass die Betriebskosten hoch sind, die Nutzungszeit jeder Füllung des Niedertemperaturmediums kurz ist und das Vakuumsystem, das über einen langen Zeitraum kontinuierlich betrieben werden muss, die Arbeit regelmäßig auffüllen muss Medium und wird durch die Versorgungsbedingungen des Tieftemperaturmediums begrenzt.
Prozess-Kryopumpe: Das Kryopanel-Kühlrohr in der Pumpe ist mit dem Kälteexpander verbunden, und das kryogene Medium (Gas Helium) wird der Kryopumpe durch die äußere Rohrleitung zugeführt, nimmt die Wärme des Kryopanels auf und kehrt dann zum Kältekompressor zurück bilden einen geschlossenen Kreislauf. Das Volumen der Pumpe ist riesig, die Pipeline ist kompliziert und der Kühlverlust der Pipeline ist groß.
Der Vorteil der Prozess-Kryopumpe besteht darin, dass sie eine große Kühlleistung hat und sich am besten zum Entfernen von atmosphärischem Volumen oder einer großen Vakuumkammer eignet.
Kleine Kühlschrank-Kryopumpe: Die kleine Kühlschrank-Kryopumpe mit geschlossenem Kreislauf besteht aus einem Niedertemperatur-Pumpenkörper, einem Luftextraktions-Kryopaneel, einer Strahlungsabschirmplatte, einem Kühlschrank und einem Kompressor.
Der größte Unterschied zwischen der Kryopumpe der Kleinkältemaschine und der Kryopumpe des Prozesses besteht darin, dass der erste und der zweite Kaltkopf der Kältemaschine direkt mit dem Strahlungsschirm und der Kühlplatte verbunden sind und die Strömung in der verbindenden Rohrleitung zwischen den Kühlschrank und der Kompressor ist normale Temperatur, hohe (oder niedrige) Temperatur. ) Druckgasmedium, es gibt kein Transportproblem des Niedertemperaturmediums, und es hat die Vorteile einer Prozesskryopumpe und einer Kryopumpe mit Lagertank. Es ist derzeit eine ideale saubere Ultrahochvakuumpumpe.
Kleine Kühlschrank-Kryopumpen werden häufig in der Dünnschichtherstellung, Mikroelektroniktechnologie, Hochenergiephysik, kleinen Ringdüsengeräten und anderen industriellen Bereichen eingesetzt.