Kryopumpen sind auch im heutigen Leben weit verbreitet. Viele Menschen haben vielleicht noch nichts von Kryopumpen gehört. Kryopumpen sind eine Art Vakuumpumpe, die Niedertemperatur-Oberflächenkondensationsgas verwendet. Der Vorteil ist, dass die Pumpleistung am größten ist. Werfen wir heute einen Blick auf Kryopumpen Wie die Pumpe funktioniert.
Das Arbeitsprinzip der Kryopumpe besteht darin, das Gas zu verwenden, um es physikalisch auf der Oberfläche mit ultraniedriger Temperatur zu adsorbieren, um den Effekt des Erschöpfens zu erzielen. Es ist eine effektive und schnelle Methode, um ein sauberes Vakuum zu erhalten.
Die Kryopumpe kann ein extrem hohes Vakuum (10-11Pa) erreichen und hat die Vorteile einer schnellen Absauggeschwindigkeit, kein Öl und eine unbegrenzte Installationsrichtung.
Auf der Kältestufe der ersten Stufe der Kryopumpe werden eine Abschirmabdeckung und eine Ablenkplatte angebracht, und die Temperatur wird auf 80 K gehalten. Die sekundäre Kühlstufe wurde auf 15 K gehalten, und eine kryogene Abdeckung und ein Aktivkohle-Adsorptionsmittel wurden darauf gesetzt.
Wasserdampf wird auf dem 80K-Schild und der 80K-Schallwand verfestigt; Stickstoff, Sauerstoff und Argon werden auf der kryogenen 15K-Abdeckung verfestigt; Wasserstoff, Helium und Neon werden auf dem Adsorptionsmittel innerhalb der kryogenen 15K-Abdeckung adsorbiert. Die Kryopumpe kann alle Gase ausstoßen, aber wenn die Menge an adsorbiertem Gas zu groß ist, wird die Ausstoßgeschwindigkeit reduziert. In diesem Fall ist es notwendig, die Kryopumpe aufzuheizen, das adsorbierte Gas freizusetzen und erneut zu verwenden.
Funktionen der Kryopumpe
Eine Kryopumpe ist eine Vakuumpumpe, die eine Oberfläche mit niedriger Temperatur verwendet, um Gas zu kondensieren, auch bekannt als Kondensatpumpe. Die Kryopumpe kann ein sauberes Vakuum mit der höchsten Pumprate und dem niedrigsten Enddruck erzielen und wird häufig in der Forschung und Produktion von Halbleitern und integrierten Schaltkreisen sowie in der Molekularstrahlforschung, Vakuumbeschichtungsausrüstung, Vakuumoberflächenanalyseinstrumenten und Ionen eingesetzt Implantierer und Weltraumsimulationsgeräte usw. Aspekt.
Eine Kryopumpe ist eine Vakuumpumpe, die den Kondensationseffekt einer Kühlfläche mit sehr niedriger Temperatur (weniger als oder gleich 77 K) nutzt, um Gas aus dem System zu entfernen. Seit den 1960er Jahren wird das kryogene Pumpen immer häufiger zur Erzeugung und Anwendung von Vakuum eingesetzt.
Eine Kryopumpe ist eine saubere Vakuumpumpe. Da das kryogene Medium nur ein Kältemittel ist, das die Saugfläche der Pumpe kühlt und in einem geschlossenen Behälter gelagert oder umgewälzt wird, hat es keinen Kontakt mit dem Vakuumraum. Diese Funktion ist entscheidend für bestimmte Vakuumsysteme, die saubere, ölfreie Vakuumsysteme erfordern.
Kryopumpen können für die meisten Gase sehr niedrige Partialdrücke und sehr hohe Sauggeschwindigkeiten erreichen. Wenn die Kryopumpe in flüssigem Heliummedium arbeitet, hat sie auch die Vorteile einer großen tatsächlichen Pumpkapazität und eines nicht selektiven Pumpens (mit Ausnahme von Helium).
Kryopumpen spielen eine wichtige Rolle in der Forschung und Produktion von Halbleitern und integrierten Schaltkreisen, der Molekularstrahlforschung und anderen Bereichen. Es ist eine saubere Vakuumpumpe. Das Obige dreht sich alles um das Arbeitsprinzip von Kryopumpen.