Kryopumpen werden nach dem Prinzip der Gaskondensation, der kryogenen Adsorption, des kryogenen Einfangens oder des Absaugens zur Erzielung eines Vakuums hergestellt.
1. Je nach Arbeitsdruck der Pumpe kann sie in Kryopumpe für kontinuierlichen Durchflussbereich, Kryopumpe für Molekularflussbereich, normalerweise Kondensatpumpe plus Adsorptionsstufe oder kryogene Abscheidungsstufe unterteilt werden.
2. Je nach Kühlmethode kann es in Lagertank-Kryopumpe, Verdunstungs-Kryopumpe und Kälte-Kryopumpe unterteilt werden. Darunter verwenden sowohl die Speichertank-Kryopumpe als auch die Verdampfungs-Kryopumpe flüssiges Kältemittel zum Kühlen, die Kühlschildoberfläche wird üblicherweise aus flüssigem Stickstoff und die kryogene Oberfläche wird üblicherweise aus flüssigem Helium oder gasförmigem Helium zum Kühlen verwendet. Aufgrund der Brennbarkeit, Explosivität und des hohen Preises von flüssigem Wasserstoff wird dieser trotz seiner höheren Verdampfungsenthalpie als flüssiges Helium noch selten eingesetzt.
Kryopumpenkühlschränke werden üblicherweise von Gifford verwendet. McMahon-Typ (als GM-Kühlschrank bezeichnet) und Stirling-Typ (als St-Kühlschrank bezeichnet). Für Kälte-Kryopumpen mit hoher Pumpgeschwindigkeit kann ein Kühler mit flüssigem Helium in Temperaturqualität verwendet werden, und ein JT-Ventil kann so eingestellt werden, dass es eine Flüssigkeitszirkulations-Kühlvorrichtung bildet, und manchmal wird dazu flüssiger Stickstoff in einem Flüssigkeitsspeichertank oder einer Stickstoffverflüssigungsmaschine verwendet Kühlen Sie die Schallwand und die Schirmoberfläche.
Die Hauptleistung der Kryopumpe
①Höher als das Saugvermögen, besser als alle anderen Pumpentypen.
②Es gibt keine Einschränkungen hinsichtlich der Form, es kann in die Vakuumkammer eingetaucht oder mit einem Flansch an der Wand der Vakuumkammer befestigt werden.
③Es kann ein vollständig sauberes Vakuum ohne Verschmutzung des Vakuumsystems liefern.
④Es kann ein Vakuumgrad mit extrem niedrigem Druck erreicht werden, wie z. B. unter 10-12Pa. Darüber hinaus ist der Betrieb der Kryopumpe zuverlässig, und wenn die Pumpgeschwindigkeit relativ hoch ist, sind die Betriebskosten ihrer Investition niedriger als die der herkömmlichen Vakuumpumpe, und es ist leicht, eine Automatisierung zu realisieren.