Tieftemperatur-Pumpe in die Injektion flüssiger Helium Kryopumpe und geschlossenes Zyklus Helium Kühlschrank Kryopumpe zwei.
Kryopumpe der Einspritzart
Hauptsächlich durch den Behälter mit flüssigem Helium, den Pumpenkörper und die mit dem Prallplattenhohlraum verbundenen Teile aus flüssigem Stickstoff. Um den Verbrauch von flüssigem Helium zu reduzieren, wird die Außenwand des flüssigen Heliumbehälters mit doppelter Isolationswand und Vakuum zwischenzeitlich entfernt. Wenn die Pumpe auf den Pre-PA-Druck in flüssigem Stickstoff und Helium-Gas-Kondensation in der kalten Platte auf 4.2K gepumpt wird. Der Partialdruck von Helium - Wasserstoff zur Anzahl der PA wird vorgepumpt, so dass die Pumpe den Enddruck unter pa erreichen kann. Wenn die Vakuum-Dekompression des flüssigen Heliumbehälters auf 6650 kPa reduziert wird, kann die Temperatur des flüssigen Heliums auf 2,3 K reduziert werden, kann den unteren Grenzdruck erhalten.
Kryopumpe für geschlossenen Gas-Helium-Kühlschrank
Es war eine neue Art von Kryopumpe, die in den 70er Jahren erschien. Diese Pumpe verbraucht kein Helium, ist einfach zu bedienen und leicht zu warten und wird häufig verwendet. Das Kühlmedium des Kühlschranks ist Gas Helium, die erste Klasse Cold Plate Temperatur ist 50 ~ 100K, die typische Anwendung ist 65K, die verwendet wird, um den Wasserdampf und das andere Gas zu kondensieren, und die Temperatur der zweistufigen Kühlplatte ist 10 ~ 20K, die verwendet wird, um das Stickstoff-, Sauerstoff- und Argongas zu kondensieren. Die innere Oberfläche der zweistufigen Kühlplatte ist mit Aktivkohle beschichtet. Aktivkohle hat eine hohe Adsorptionskapazität für Helium, Neon und Wasserstoff bei niedriger Temperatur. Die kalte Platte ist aus sauerstofffreiem Kupfer hergestellt, und die Oberfläche ist auf den Grad der Spiegeloberfläche poliert, um den Strahlungskoeffizienten zu reduzieren. Der Grenzdruck der Pumpe ist PA, der Arbeitsdruckbereich ist PPA und der Vorpumpdruck ist 1 PPA. Die Produktionsrate des Produkts hat 60000 Liter pro Sekunde erreicht. Zusätzlich kann die Abluftkühlplatte gemäß den Eigenschaften des Verfahrens in dem gepumpten Behälter angeordnet sein, und die Pumprate kann 106 Liter pro Sekunde erreichen.
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