Adsorptionsmaterialien für Kryopumpen

Apr 24, 2018 Eine Nachricht hinterlassen

Das Adsorptionsmaterial hat großen Einfluss auf die Arbeitsleistung der Kryopumpe. Von einem Vakuumerfassungsaspekt kann auch eine Kryopumpe ohne irgendein Adsorptionsmittel die Anforderungen erfüllen. Da die Niedertemperaturpumpe jedoch normalerweise auf flüssiges Helium oder Kälte und niedrige Temperaturen angewiesen ist, kann die Mindesttemperatur 4 K erreichen. Gleichzeitig wird eine Kryopumpe benötigt, um Helium zu entfernen, da Helium häufig zur Vakuumlecksuche verwendet wird. Daher müssen Kryopumpen Materialien adsorbieren, um ihnen zu helfen, Gas zu entfernen. Außerdem kann das Adsorptionsmaterial einen niedrigeren Gleichgewichtsdruck als das ohne Adsorptionsmaterial bei niedriger Temperatur erhalten. Der Arbeitsmodus der Kryopumpe ist durch Oberflächenadsorption. Je größer die Oberfläche ist, desto besser ist die Leistung der Kryopumpe. Daher müssen geeignete adsorptive Materialien eine größere spezifische Oberfläche und Adsorptionskapazität aufweisen. Die physikalischen Größen der adsorbierten Materialien sind hauptsächlich: Geometrie und Partikelgrößenverteilung; Oberflächenstruktur; Dichte; spezifische Oberfläche; Porengrößenverteilung, Kong Rong und durchschnittliche Porengröße. Gegenwärtig sind die Adsorptionsmaterialien für Kryopumpen hauptsächlich durch die obigen Parameter gekennzeichnet.


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